设备

ITFSI拥有广泛的资源来生产高质量的研究成果。 这些为研究所提供了表征,建模,传感器和成像方面的能力。 该研究所拥有广泛的沉积和计量设备,从高通量溅射系统到扫描电子显微镜。 目前正在升级新的洁净室设施,以进行更高质量的薄膜检测。

薄膜沉积系统

CVC AST304射频磁控溅射系统有两个可用的目标,并配有一个低压泵,可达到高真空。

微波等离子体辅助脉冲DC溅射系统能够生产高质量的光学薄膜。 欲了解更多信息,请点击此处

PECVD系统用于生产高质量的类金刚石碳(DLC)涂层。 ITFSI的这个系统配备了空心阴极。

Satis 370是一种定制电子束沉积系统,最近更新为共沉积,并配备了ITFSI设计的等离子体源,用于等离子体增强电子束沉积。

分子束外延系统(位于格拉斯哥苏格兰科学园区西气体传感解决方案有限公司)。 与Gas Sensing Solutions Ltd,Glasgow,Strathclyde,Stanford USA和West of Scotland大学共用设施。

PlasmaCoat RF溅射系统是一种小批量,高通量的沉积系统。 在ITFSI,有两种PlasmaCoat溅射系统。 欲了解更多信息,请点击这里

ITFSI的分析技术

Aquila nkd 8000光谱仪可以同时测量可见光/近红外范围内的透射和反射数据。

Thermo Fisher Scientific Nicolet iS50 FTIR具有测量红外传输和反射的附件。 可以用氮气冲洗室以除去二氧化碳的影响。

西门子D5000 X射线衍射仪配有铜X射线源,可以进行各种不同的测量设置。 特别用于鉴定样品中的晶相。

Thermo Fisher Scientific DXR拉曼显微镜能够测量拉曼散射以及SERS应用。 欲了解更多信息,请点击此处

日立S4100电子显微镜配备了新的Oxford Instruments EDS探测器。 欲了解更多信息,请点击这里

ITFSI具有椭圆测量功能,可用于样品光学分析。